原因分析：齿轮表面发生点蚀和剥落的原因主要是伺服行星减速机的齿轮接触疲劳强度不足所致。这种点蚀和剥落与磨损的不同之处在于，金属不是以微粒形式被磨损掉，而是以成块的形式发生剥落，造成齿面凹坑，严重地破坏了齿型的正确性。 

其破坏过程是：首先在齿面产生微小裂纹，润滑油进入疲劳裂纹，再经过多次反复的啮合作用，使裂纹不断扩展和延伸，润滑油随着裂纹的扩展与延伸不断向裂纹深部充满，直到有一小块金属剥落而离开齿面。这种现象破坏了齿轮的正常啮合性能。齿面发生点蚀的主要原因有：

a.材质、硬度和缺陷。齿轮的材质不符合要求；影响齿轮接触疲劳强度的主要因素是热处理后的硬度较低，无法保证齿轮应有的接触疲劳强度。此外，齿表面或内部有缺陷，也是接触疲劳强度不够的原因之一。

b.齿轮精度较差。齿轮加工和装配精度不符合要求，如啮合精度、运动精度较差等。还有圆弧齿轮的壳体中心距误差太大。

c.润滑油不符合要求。使用的润滑油的牌号不对，油品的粘度较低，润滑性能较差。

d.油位过高。油位过高，油温升较高，降低了润滑油的粘度，破坏了润滑性能，减少了油膜的工作厚度。

  解决措施：提高齿面硬度，减小齿面粗糙度数值，尽可能采用大变位系数，增加润滑油的粘度和减少动载荷，这样可以有助于防止伺服行星减速机的齿面发生疲劳点蚀。

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